磁控濺射系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：
帶有水冷或者加熱（高可加熱到700度）功能，大到6“旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

產(chǎn)品型號(hào)： GSC-1000

所屬分類(lèi)：磁控濺射系統(tǒng)

更新時(shí)間：2019-01-15

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

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詳情介紹

GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)?

GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：

帶有水冷或者加熱(高可加熱到700度)功能，大到6"旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
70l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵
1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門(mén)易于上下載片
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制
帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪(fǎng)問(wèn)控制
*的安全聯(lián)鎖功能
選配項(xiàng)：
Thickness Monitor 膜厚監(jiān)測(cè)
應(yīng) 用：
SEM應(yīng)用
濺射金屬，大到6"的晶圓片