快速退火爐

簡要描述：AS-One系統(tǒng)有兩種型號： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規(guī)模生產的需求而研制的，高可靠且性價比高。

該工藝室采用貝殼式設計，可*進入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。

產品型號： AS-One systems

所屬分類：快速退火爐

更新時間：2019-03-05

廠商性質：生產廠家

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詳情介紹

AS-One系統(tǒng)有兩種型號： AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規(guī)模生產的需求而研制的，高可靠且性價比高。

該工藝室采用貝殼式設計，可*進入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實際清潔腔體

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。

特征：
基本尺寸：	Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors
工藝腔體	運用不銹鋼冷腔室壁技術
溫度范圍	標準配置：高達到1250°C 高溫配置：高達到1450°C
溫度控制	標準配置：熱電偶和高溫計用來測量溫度快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制
真空和氣體	多可達5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體
電腦控制	全PC電腦控制，每個配方多100步驟全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機界面設計
選項：
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件
應用