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將熱重分析質(zhì)譜儀與質(zhì)譜儀聯(lián)用可以檢測(cè)到非常低含量的雜質(zhì)，這一手段越來越受歡迎。通過熱重加熱樣品，樣品會(huì)因揮發(fā)物的存在或者燃燒分解出氣體，這些氣體被傳輸?shù)劫|(zhì)譜儀中，加以識(shí)別。由于質(zhì)譜可以檢測(cè)材料非常低的含量，TG-MS聯(lián)用成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品安...

光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x采用現(xiàn)代化工藝制造，儀器采用先進(jìn)的CCD數(shù)字?jǐn)z像機(jī)，配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源系統(tǒng)，搭配三維樣品臺(tái)，可進(jìn)行工作臺(tái)上下、左右、前后等方向移動(dòng)。實(shí)現(xiàn)微量進(jìn)樣及上下精密移動(dòng)。同時(shí)還設(shè)計(jì)了伸縮桿結(jié)構(gòu)工作臺(tái)，能適應(yīng)...

勻膠顯影系統(tǒng)具有可編程閥，它可以使單注射器試劑滴膠按照蝕刻、顯影和清洗應(yīng)用的要求重復(fù)進(jìn)行，如沖洗（通常是去離子水或溶劑），然后干燥（通常是氮?dú)猓┑群蟮奶幚聿襟E。采用此序貫閥門技術(shù)的晶圓片和管道在*干燥的環(huán)境中開通和關(guān)閉處理過程。隔離和獨(dú)立的...

光學(xué)接觸角測(cè)量?jī)x可以記錄液滴圖像并且自動(dòng)分析液滴的形狀。液滴形狀是液體表面張力、重力和不同液體樣品的密度差和濕度差及環(huán)境介質(zhì)的函數(shù)。在固體表面上，液滴形狀和接觸角也依賴于固體的特性（例如表面自由能和形貌）。使用液滴輪廓擬合方法對(duì)獲得的圖像進(jìn)...

PDC-002等離子清洗機(jī)是一種小型化、超清洗設(shè)備。等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺(tái)真空非破壞性的泵，工作時(shí)等離子體表面處理儀的清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表...

勻膠旋涂機(jī)的工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，甩膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。勻膠旋涂機(jī)機(jī)身采用全工程塑料制作，...

Harrick等離子清洗機(jī)采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠)，達(dá)到晶圓表面潔凈，Harrick等離子清洗機(jī)具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。Harrick等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)組成，...

勻膠旋涂機(jī)工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠旋涂機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)?？梢栽O(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不...

微波等離子去膠機(jī)概述：Q系列等離子清洗機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理...

PDC-002等離子清洗機(jī)是一種小型化、超清洗設(shè)備。該款等離子體表面處理儀采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來的二次污染。這款等離子體表面處理儀外接一臺(tái)真空非破壞性的泵，工作時(shí)等離子體表面處理儀的清洗腔中的等離子體...